等離子清洗機九大常見故障分析及其解決辦法

一、等離子清洗機不發(fā)光

可能原因：1真空泵是否正常運行；2、射頻電源主板燒壞；

處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達到正常壓力值；如不能達到正常壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好；2、打開設備右側面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設備正常運行下是否亮，如果不亮，請聯(lián)系東信高科售后人員進行更換。

二、真空泵不工作

可能原因：1、真空泵油不足；2、電機燒壞；3、真空泵磨損；

處理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、請聯(lián)系我公司客服；

三、清洗效果不良

可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應氣體；

解決措施：1、調節(jié)功率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理；3、咨詢我公司客服；

四、真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障

1、出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數有無變化，設備突然斷電會引起系統(tǒng)參數歸零，導致設備出現(xiàn)此類報警；

2、如系統(tǒng)參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況；

3、檢查導線是否有斷路或短路情況；

4、如無上述異常，請檢查真空泵；

五、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

1、如出現(xiàn)此類報警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路；

六、真空泵倒計時故障（機械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復位鍵

1、所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空；

2、檢查真空門是否關到位；

3、逐級檢查真空系統(tǒng)中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞；

4、真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵；

七、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查并更換真空計

1、檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路；

八、急停未復位或已按下，請打開急停開關

1、檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路；

九、 CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）

1、此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現(xiàn)此報警時需檢查CDA是否正常供氣至設備端；

2、確認供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報警值是否設定正確；

3、檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路；